按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。

以下是無(wú)塵車(chē)間需知的凈化參數(shù)：

1、隔間、吊頂材質(zhì)、吊頂高度；

2、地坪材質(zhì)；

3、是否恒溫恒濕；

4、是否需要排風(fēng)；

5、車(chē)間總?cè)藬?shù)多少；

6、車(chē)間工藝設(shè)備的發(fā)熱量；

等等一系列的參數(shù).

10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的標(biāo)準(zhǔn)是：

塵埃最大允許數(shù)（每立方米）；

大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)20000個(gè)；

微生物最大允許數(shù)；

浮游菌數(shù)不得超過(guò)500個(gè)每 立方米；

沉降菌數(shù)不得超過(guò)10個(gè)每培養(yǎng)皿。

壓差：相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致，對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。

十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季24~26℃；波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

配電：無(wú)塵車(chē)間（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。

噪聲控制

一、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過(guò)70分貝A。

二、靜態(tài)測(cè)試時(shí)，萬(wàn)級(jí)亂流無(wú)塵車(chē)間的噪聲級(jí)不宜大于60分貝A。

氣流組織

十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間主要采用的送風(fēng)方式；

1、局部孔板頂棚送風(fēng)；

2、帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng)；

3、上側(cè)墻送風(fēng) 等三種送風(fēng)方式。

十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間主要采用的回風(fēng)方式；

1、單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口；2、當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí)，在走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在走廊端部集中設(shè)置回 風(fēng)口。

送風(fēng)口風(fēng)速米/秒：

1、孔板孔口3~5；

2、側(cè)送風(fēng)口：

（1）貼附射流2~5；

（2）非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5，對(duì)側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。

回風(fēng)口風(fēng)速（米/秒）：

1、潔凈室回風(fēng)口不大于2；

2、走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4。

人員進(jìn)出10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)操作程序

1 目的

建立10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間人員進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)操作程序，保證無(wú)塵車(chē)間不受人員污染。

2 范圍

車(chē)間10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間人員的進(jìn)出，包括生產(chǎn)操作人員、維修人員及管理人員。

3 責(zé)任

3.1 凡進(jìn)出10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的人員均應(yīng)對(duì)此操作程序負(fù)責(zé)。

3.2 無(wú)塵車(chē)間班組長(zhǎng)、現(xiàn)場(chǎng)品管員負(fù)責(zé)監(jiān)督、檢查。

4 內(nèi)容

4.1 進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間門(mén)口，放下自己的雨具、物品于規(guī)定位置。

4.2 換拖鞋。在換鞋處，坐在鞋凳上，脫去家居鞋，并將其放入鞋柜，旋轉(zhuǎn)180度，在鞋柜上層取出自己的拖鞋穿上。

4.3 換工作服。進(jìn)入一般工作區(qū)辦公室，脫下員工便服，換上工作服。

4.4 洗手。按洗手流程清洗手部。

4.5 換工作鞋。進(jìn)入更鞋間門(mén)口，坐在橫凳上，面對(duì)門(mén)外，脫去拖鞋，將拖鞋放入鞋柜下層，從鞋柜上層取出自己的工作鞋，坐著旋轉(zhuǎn)180度背對(duì)門(mén)外穿上。

4.6 洗手、烘干。

4.6.1 在洗手池用水潤(rùn)濕雙手至腕上10cm,用清潔劑洗滌，使手及手腕上10cm的皮膚均充滿(mǎn)泡沫，摩擦約15秒鐘。

4.6.2 用水沖洗雙手，沖凈手上泡米，雙手上下翻動(dòng)，摩擦，直至不感滑膩為止。

4.6.3 用眼檢查雙手是否已清潔干凈。

4.6.4 將手掌伸至烘手機(jī)下8~10cm處，烘手，至干為止。

4.7 換潔凈內(nèi)衣褲。脫下工作服放入個(gè)人的更衣柜內(nèi)，從一更更衣室墻壁掛鉤上取下含有個(gè)人編號(hào)的工作帽、工作衣、工作褲換上。按從上到下的順序穿上，即：先戴帽、口罩，再穿上衣，然后穿褲子。注意要將上衣全部扎緊褲袋里，頭發(fā)全部塞入帽內(nèi)，并檢查衣帽是否整齊。

4.8 洗手、消毒。

4.8.1 在洗手池用水潤(rùn)濕雙手至腕上10cm,用清潔劑洗滌，使手及手腕上10cm的皮膚均充滿(mǎn)泡沫，摩擦約15秒鐘。

4.8.2 用水沖洗雙手，沖凈手上泡米，雙手上下翻動(dòng)，摩擦，直至不感滑膩為止。

4.8.3 用眼檢查雙手是否已清潔干凈。

4.8.4 消毒。將雙手至腕上10cm浸泡到含氯消毒液中30秒。

4.8.5 將手掌伸至烘手機(jī)下8~10cm處，烘手，至干為止。

4.9 穿連體服。從衣柜里取出含個(gè)人編號(hào)的連體服。按從下到上的順序穿上，注意不允許讓連體服接觸到地面。

4.10 收消毒。推門(mén)進(jìn)入緩沖室，雙手放在裝有75%乙醇的自動(dòng)感應(yīng)噴霧器下方，噴霧消毒，摔動(dòng)雙手，讓乙醇揮干。

4.11 進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間。打開(kāi)緩沖室門(mén)，進(jìn)入無(wú)塵區(qū)。

4.12 人員出潔凈區(qū)按進(jìn)入潔凈區(qū)相反的程序進(jìn)行。注意拖工作衣時(shí)要按從下到上的順序脫衣。

4.13 外來(lái)參觀人員須經(jīng)工廠同意，在車(chē)間管理人員指導(dǎo)和監(jiān)督下，按規(guī)定程序進(jìn)出無(wú)塵車(chē)間。外來(lái)參觀人員必須嚴(yán)格遵守車(chē)間無(wú)塵各項(xiàng)管理規(guī)定。無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)期間，外來(lái)參觀人員不得進(jìn)入。

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