潔凈室高效風口現場檢漏

——氣溶膠光度計法與粒子計數法的對比探討

本文通過對比試驗對氣溶膠光度計法與粒子計數法這兩種測試方法的技術與經驗進行了相關探討，其試驗結論對于提高目前風口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。

根據GB50591-2010潔凈室施工及驗收規范，ISO14644標準以及SFDA、GMP的要求，高效過濾器安裝后，贏對其進行檢漏測試，以檢查高效過濾器的密封墊、框架及過濾器濾材等處的密封性并定期進行高效過濾器的檢漏試驗，確保其符合要求。它是保證車間潔凈環境的重要手段之一。

根據ISO14644-3.B.6給出的測試方法，高效風口檢漏試驗一般采用氣溶膠光度計法和離散粒子計數法。

高效過濾器檢漏使用塵緣有聚α烯烴（PAO）和癸二酸二（2-乙基己基）酯DEHS等幾種。

氣溶膠光度計法與粒子計數法的測試區別

氣溶膠光度計法使用的測量儀器是氣溶膠光度計。氣溶膠光度計是一種前散射線性光度計。它友真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉換器和微處理器等組成。其工作原理是當氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉換成電信號，此信號經放大和數字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強度。通過與參比物質產生的信號對比，可以直接測量氣體中顆粒物質的質量濃度。檢漏使用的塵源是聚α烯烴（PAO）。光度計測量結果顯示的是ug/L（毫克/升）。

粒子計數器法使用的測量儀器是粒子計數器。粒子計數器的工作原理是講來自光源的光線被透鏡組聚焦于測量腔內。當空氣中的每一個粒子快速的通過測量腔時，便把入射光散射一次，形成一個光脈沖信號。這一光信號經過透鏡組被送到光檢測器。正比轉換成電脈沖信號，再經過儀器電子線路的放大、甄別、揀出需要的信號，通過計數系統顯示出來，得知空氣中微粒的粒徑和個數。檢漏使用的成員是癸二酸二（2-乙基己基）酯DEHS。粒子計數器結果顯示的是：粒徑的粒子數，單位為顆/28.3L。

氣溶膠光度計法與粒子計數器法檢漏的對比試驗

之前有進行過氣溶膠光度計法與粒子計數器法檢漏的對比試驗。試驗對象為規格1190*650的層流罩，高效過濾器采用反液槽密封無隔板高效過濾器（www.rfilter.com），尺寸規格484*484*70，四面加500mm寬防靜電軟簾圍擋。

本次試驗依據為ISO14644-3-B.6.2使用氣溶膠光度計對就位過濾系統掃描檢漏的方法和ISO14644-3-B.6.3使用粒子計數器對就位過濾系統掃描檢漏的方法。

本次試驗使用的儀器如下：

ATI-TDA-2H氣溶膠光度計，美國ATI公司產品

ATI-TDA-6C發生器（PAO），美國ATI公司產品

ATI-L310S計數檢漏儀，美國ATI公司產品

ATI-Q3氣溶膠發生器（DEHS），美國ATI公司產品

ATI-S015稀釋器（109倍），美國ATI公司產品

風速儀，德威爾

實驗內容及數據分別如表1、表2、表3、表4所示。

表1對比檢測一：用光度計和粒子計數器分別進行檢漏測試

試驗結論

l 氣溶膠光度計法操作簡便，相對粒子計數器法使用方便。

l 用PAO測試時，光度計的上游濃度為2ug/L，相當于粒子計數器為1200萬顆/28.3L，計數法能在下游檢測出漏點，而用光度計無法檢測出漏點，用DEHS測試時，被測結果與上述數據一致，說明計數法更靈敏。

l 在同樣的漏點被檢測出時，光度計法所需要上游濃度要比粒子計數法大100倍左右，這就造成了對過濾器和環境的污染。濃度越大，噴霧時間長的花，會有微小油滴聚集。

l 用計數器法對過濾器檢漏，上游所需發塵濃度低，下游探測靈敏度高，相對光度計法污染低。

l 用計數器法克直接現場打印數據，得到粒子粒徑數，便于追查漏點原因，而光度計法則無現場打印功能，無粒徑概念，對超高效不合適。

l 推薦使用氣溶膠：DEHS，更經濟實惠，而且符合標準要求。

本次試驗對比旨在對上述兩種測試方法之間的技術與經驗進行相關交流與學習，同時也對提高目前風口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。

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